为了降低基于MEMS(micro-electro-mechanical systems)微镜的傅里叶变换光谱探测系统复原光谱仪的畸变, 提高复原光谱的质量, 减小系统相位误差的影响, 提出了一种系统相位误差的修正方法。 首先分析了基于MEMS微镜的傅里叶变换光谱探测系统中相位误差的主要来源, 分析结果表明: 该新型傅里叶变换光谱探测系统的相位误差来源于光程差的零点漂移, 该相位误差可以通过改进该系统干涉仪的结构引入过零采样并利用Mertz乘积法进行修正。 搭建了光谱探测系统的实验平台, 对该相位误差校正方法进行了实验验证, 实验结果表明: 采用了改进干涉仪并利用Mertz乘积法校正误差后的光谱探测系统所测得的复原光谱质量得到明显改善, 去除了原复原谱畸变产生的负峰, 且旁瓣得到明显抑制。 该相位误差校正方法能够很好的降低相位误差对系统性能的影响, 能够有效地提高系统的光谱探测性能。 在提出的基于MEMS微镜的新型傅里叶变换光谱探测系统的基础上, 分析了该系统相位误差的来源, 提出了一种系统相位误差的修正方法, 提高了系统的光谱探测性能。

基于哈达玛变换算法和微光机电系统(MOEMS)微镜的良好可编程性，提出了一种改善新型空间调制傅里叶变换光谱探测系统信噪比的方法。对哈达玛变换算法应用于该系统做了理论分析并搭建了实验系统进行验证。结果表明，经过哈达玛变换处理后的干涉信号噪声明显减小，复原光谱旁瓣得到明显抑制，信噪比显著提高。

采用微机电系统微镜阵列和倾斜反射镜替代传统傅里叶变换光谱仪的动镜系统, 提出一种基于微机电系统微镜阵列的新型傅里叶变换光谱仪.介绍了该光谱仪的工作原理, 分析了倾斜反射镜倾斜角度的容限范围, 并搭建了实验系统, 进行了实验验证.理论推导表明: 在近红外区域, 反射镜倾角理论最大值为0.52°, 光谱分辨率达到8 nm; 在可见光区域, 反射镜倾角理论最大值0.183°, 光谱分辨率达到3 nm.选取可见光源488 nm激光器进行的实验验证结果表明: 在倾角容限范围之内, 光谱能准确还原; 反之, 光谱严重失真.最终, 采用复色光源进一步实验验证了理论分析的正确性.

提出了一种新型的基于可编程MEMS(micro-electro-mechanical systems)微镜的微型傅里叶变换红外光谱仪。 该光谱仪采用可编程MEMS微镜和倾斜反射镜替代了传统傅里叶变换光谱仪的动镜系统。 理论分析了该光谱仪的工作原理, 并进行了计算机仿真, 验证了该方法的可行性。 结果表明, 该光谱系统能够准确地还原光谱信息, 其光谱分辨率在近红外区域小于5 nm, 波长准确性约1 nm, 系统理论上的信号采集周期约50 ms。 适合于利用阿达玛变换提高信噪比, 可应用于微量物质检测。