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光电子学
准分子激光微制造技术及其应用
陈志凌 史铁林 刘胜 熊良才 
作者单位
摘要
华中科技大学微系统研究中心, 武汉 430074
比较分析四种微加工工艺的基本特征和技术难点,简述准分子激光与Nd∶YAG激光微制造技术的特点和应用范围。结合华中科技大学准分子激光微制造工作站的建设及其在微钻孔、微切割等方面的实际应用,分析准分子激光在MEMS(微机电系统)键合、焊接、封装过程中应用的可能性。
准分子激光 微制造 MEMS封装 
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激光与光电子学进展
2004, 41(2): 47
综述
国外激光**发展动向
陈志凌 
作者单位
摘要
华中理工大学
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激光与光电子学进展
1994, 31(1): 1
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