1 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室，长春 130022
2 中国科学院高能物理研究所 粒子天体物理中心，北京 100049
3 北京化工大学 数理学院，北京 100029
分别以AZ50XT和聚乙烯醇为脱膜剂，在本底真空度为5.0×10-4 Pa的磁控溅射镀膜机中沉积Al膜，制备出厚度为80 nm的自支撑Al滤光片，并对滤光片进行表面缺陷分析。通过扫描电镜和CMOS相机观察得到，制备的Al滤光片表面均匀性较好，有少量针孔。对滤光片的光学性能进行了表征。用紫外可见分光光度计测得滤光片在可见光及红外光波段的透过率低于0.02%，基本满足使用要求。用软X射线透过率测试系统测得滤光片在1.6~10 keV能段的透过率高于90%，透过率曲线与理论结果基本一致，满足应用要求。用同步辐射装置测得两种滤光片在50~250 eV能段的最高透过率分别为53%和35%，受Al膜表面氧化和脱膜剂残留的影响，实际测得的透过率比理论计算值偏低。
薄膜 自支撑 脱膜剂 软X射线 极紫外 透过率 Thin films Self-supporting Release agent Soft X-ray Extreme ultraviolet Transmittance
1 中国科学院 高能物理研究所 粒子天体物理中心, 北京 100049
2 北京化工大学 数理学院, 北京 100029
为了满足国内外空间X射线探测的需求, 研制了可透过X射线同时阻挡紫外可见红外波段杂散光的X射线遮光膜。利用紫外可见分光光度计和同步辐射光源对遮光膜的光学性能进行了表征, 并对其几何结构和光学性能的关系进行了分析。实验结果表明: 在紫外、可见和红外波段, 聚酰亚胺表面铝膜的厚度越大, 其透过率越低, 聚酰亚胺表面蒸镀厚度为120 nm铝膜时遮光膜的透过率已低于1.0×10-4; 且聚酰亚胺表面单面镀铝的遮光膜的挡光效果优于双面镀铝的遮光膜。在X射线波段, 遮光膜的透过率只取决于聚酰亚胺的总厚度和铝膜的总厚度, 与分层结构无关。本课题组自行研制的遮光膜基本满足目前国内空间探测项目的需求。
X射线 遮光膜 空间探测 光学性能 X-ray filter space survey optical properties 光学 精密工程
2019, 27(11): 2337
