作者单位
摘要
北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室,北京 100081
极紫外光刻曝光光学系统是极紫外光刻机的核心部件,其设计直接影响极紫外光刻机的性能。极紫外光刻机曝光系统的设计难度大、研究周期长,国外极紫外光刻机产品已经用于高端芯片的制造,但国外对中国禁运相关产品。国内极紫外光刻机曝光系统的设计和研发始于2002年。国内相关领域的研究主要聚焦在极紫外光刻机曝光光学系统的光学设计、像差检测、公差分析、热变形分析等。结合国内外极紫外光刻机曝光光学系统设计研究的历史和现状,较为系统地综述了极紫外光刻投影物镜和照明系统的设计研究与进展,包括:极紫外光刻机投影物镜系统及其设计方法、极紫外光刻照明系统及其设计方法、极紫外光刻曝光光学系统的公差分析、热变形及其对成像性能的影响研究,这为我国从事极紫外光刻机研制、曝光系统光学设计与加工的学者、工程师等提供了极紫外光刻机曝光系统设计研究的历史、现状和未来趋势的相关信息,助力我国极紫外光刻机的设计和研制。
极紫外光刻 光刻机曝光系统 物镜系统 照明系统 光学设计 
光学学报
2023, 43(15): 1522002
作者单位
摘要
长春理工大学 光电工程学院 光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室,长春130022
为解决现有激光扫描投影系统中需要手动标定的问题,提出了融合单目视觉的激光扫描投影系统自标定方法。首先建立了融合单目视觉技术的激光扫描投影系统模型,给出了融合单目视觉的激光扫描投影系统自标定方法;其次建立了单目相机与激光扫描投影系统、被投影物体之间的数学模型;最后运用Matlab软件进行模拟仿真,证明融合单目视觉的激光扫描投影系统自标定方法可以解决上述问题。同时为验证融合单目视觉的激光扫描投影系统自标定方法的精度是否满足激光扫描投影系统的需求,将Matlab软件求解的实验结果与SA软件求解的实验结果进行对比,并分析精度与距离、角度等外部因素的关系。仿真实验结果表明:当距离一定时,单目相机旋转角度为55°时,单目相机距离投影仪和被投影物体的范围为1.5~3 m,且满足投影仪的精度要求。同时通过自主搭建新型激光扫描投影系统,证明了融合单目视觉的激光扫描投影系统自标定方法具有实际可操作性和可行性。
激光扫描投影 单目视觉 自标定 位姿转换 粒子群优化 Laser scanning projection Monocular vision Self-calibration Pose conversion Particle swarm optimization 
光子学报
2021, 50(2): 134
作者单位
摘要
1 长春理工大学 光电工程学院 光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室,吉林 长春 130022
2 北京卫星制造厂有限公司,北京 100094
激光扫描投影仪能够实现待装配零部件线框轮廓的精准位置投影,能够大幅度改善由传统装配方式所引起的精度差,效率低等问题。为了在自主研发的激光扫描投影系统中实现可直接读取IGES(初始化图形交互规范)格式的三维数模激光投影,研究了多特征图元提取和文件自动生成方法。该方法通过提取待投影线框图形的点、线、面等数据特征,以元胞的方式存储在.ply格式文档中,通过.ply文件对数控开关进行延时控制以及对二维振镜轨迹进行操控,实现更加智能化地控制激光扫描投影。应用12个IGES格式图元的投影实验验证,该方法可实现所有图元清晰投影且激光轮廓线宽优于0.3 mm,通过这种新型投影系统可提高车间装配生产效率,改善装配精度。
激光投影 IGES 数据转换 多特征 投影文件 laser projection IGES data conversion multi-feature projection file 
应用光学
2020, 41(3): 611
作者单位
摘要
1 长春理工大学 光电工程学院 光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室, 长春 130022
2 北京空间机电研究所, 北京 100094
为了解决自研的激光扫描投影系统在实际扫描投影零部件外形轮廓时会存在拖尾、缺失和非预期的圆角过渡等图形偏差,严重影响投影出零部件外形轮廓的形状准确度的问题.通过分析拖尾和缺失偏差、转角偏差产生的原因,研究了基于时间补偿的激光扫描投影图形偏差校正方法,得出了补偿时间与采样率间的关系,建立了时间补偿与投影图形转角角度间的数学模型.应用所研究方法在自主搭建的激光扫描投影系统中进行验证实验,并与国外FARO激光扫描投影系统的投影图形进行对比.实验结果表明:对优化投影路径后的5行5列棋盘格图形进行投影时,比较偏差补偿前后实际投影图形效果,补偿后的投影图形形状准确度优于0.5 mm.基于时间补偿的激光扫描投影偏差校正方法可以有效地补偿拖尾和缺失偏差、能够优化非预期的转角偏差,该方法应用于自主研发的激光扫描投影系统能够显著提高投影图形准确度,具有良好的实际应用价值.
激光扫描投影 偏差校正 时间补偿 拖尾 缺失 转角 Laser scanning projection Deviation correction Time compensation Trailing Missing Corner 
光子学报
2020, 49(4): 0411002
作者单位
摘要
1 长春理工大学光电工程学院光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室, 吉林 长春 130022
2 北京空间机电研究所, 北京 100094
为解决现有激光扫描投影系统至少需要4个合作目标点才能实现坐标转换关系标定,并且经常因迭代算法不收敛而需要多次、长时间才能完成坐标转换参数解算等问题,提出并研究了融合激光测距的激光扫描投影系统标定技术。研究了加入和未加激光测距模块的激光扫描投影系统数学模型,并运用粒子群优化算法仿真分析其标定精度。针对测距误差对系统标定精度有较大影响的问题,提出粒子群导数标定算法改进标定算法,最终实现了仅需3个合作目标点的快速标定,且标定精度可提升至10 -7 mm。
测量 激光测距 激光扫描投影系统 标定模型 粒子群算法 粒子群导数标定算法 
中国激光
2019, 46(10): 1004002
作者单位
摘要
1 长春理工大学 光电工程学院 光电测控与光信息传输技术教育部重点实验室, 吉林 长春130022
2 中车长春轨道客车股份有限公司 工程技术部, 吉林 长春 130062
为提高轨道客车装配时车体零部件的定位准确度, 解决现存人工划线、制作模板等传统工艺引起的定位精度差、工作效率低等问题, 基于激光扫描投影技术建立了全新的精准辅助装配系统。通过研究系统的数学模型, 分析了其在不同投影角度上的投影误差, 并依据上述分析得出了站位布置模型。将系统应用于实际装配中, 实现了定位准确、工作效率高的特点。实际应用效果表明, 定位精度可优于0.5mm, 有效克服了现存定位装配工艺中需制造大量专用模板工装, 工装定位位置不准确, 人工描线定位精度极差等缺点。
应用光学 激光扫描投影 轨道客车 数学模型 误差分析 applied optics laser scanning projection rail cars mathematical model the error analysis 
光学技术
2019, 45(4): 391

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