作者单位
摘要
合肥京东方显示技术有限公司,安徽 合肥 230012
为掌握和了解TFT-LCD行业生产过程中,各工艺环节挥发性有机物(VOCs)的排放特征,以国内某TFT-LCD制造公司为例,研究了各生产车间的VOCs浓度分布。结果表明:阵列生产车间VOCs均值浓度最高,波动范围为4.14~11.19×10-6(1~12月); 彩膜(CF)生产车间光刻胶成分比较复杂,绿胶产线VOCs均值浓度最高,为4.6~14.50×10-6(1~12月);阵列和CF车间VCD区域,VOCs浓度最高;降低TFT-LCD生产车间VOCs的浓度关键在于源头控制,投加沸石转轮吸附设备对生产车间VOCs浓度的降低具有很明显的作用,可以去除大约60.71%~71.33%的有机废气。
TFT-LCD生产 排放特征 光刻胶 TFT-LCD production VOCs VOCs emission characteristics photoresist 
液晶与显示
2020, 35(10): 1087
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光机所
2 宝山钢铁总厂
用Mollenstedt电子双棱镜作为分束器,磁性镍钢片为测试样品,在JEM-200CX型电子显微镜上记录了微观磁场的电子全息照,由M-Z干涉仪再现,获得了微观磁区的磁力线图。
电子干涉 电子全息 微观磁场 
中国激光
1990, 17(2): 89
作者单位
摘要
1 上海宝山钢铁总厂中心试验室
2 中国科学院上海光机所
中国激光
1988, 15(6): 374
作者单位
摘要
1 中国科学院上海光机所
2 上海市激光技术研究所
中国激光
1986, 13(9): 596
作者单位
摘要
1 上海市激光技术研究所
2 华东师范大学物理系
介绍了激光传输经水路大气和陆路大气的漂移情况,它们的光漂曲线具有相似的轮廓和周期,与温度变化的轮廓和周期亦相似,但位相超前温度0.17~0.21π。一周期(二十四小时)内垂直方向陆路光漂量hL大于水路光漂量hw,hL/hw=1.14~1.40。
中国激光
1986, 13(5): 302
作者单位
摘要
1 上海市激光技术研究所
2 杭州大学物理系
本文从考虑媒质的径向和轴向的非均匀性,导出了相应的变换矩阵和流图结构。应用于空气折射率梯度对激光准直的影响和不均匀泵浦引起的激光器附加衍射损耗。结果表明,轴向折射率梯度在一定条件下可以补偿径向折射率梯度的影响。
光学学报
1985, 5(9): 859

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