1 菏泽学院 物理系,菏泽 274015
2 山东师范大学 物理与电子科学学院,济南 250014
为了研究准分子激光刻蚀聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的内在机理,将波长为248nm的KrF准分子激光垂直照射到PMMA材料表面,改变激光能量和脉冲数目,在大气背景下进行实验,照射后样品的表面形貌及化学结构用扫描电子显微镜(SEM)、3维形貌分析仪、X射线光电子能谱(XPS)等手段进行分析。 SEM测试表明,在刻蚀区域出现孔状结构,说明刻蚀过程中有气体成分产生。XPS测试表明,激光照射后C1s峰的强度减弱而O1s峰增强,据此推测PMMA侧链上的甲基被刻蚀掉且空气中的O2参与了反应。另外还研究了激光能量和脉冲数目对刻蚀率和表面粗糙度的影响。结果表明,随着激光能量和脉冲数目增加,刻蚀率和粗糙度并不是一直呈现递增的趋势。
激光技术 光与物质相互作用 激光刻蚀 高分子聚合物 有机玻璃 laser technique interaction between light and matter laser etching high polymers polymethylmetharcylate
运用全量子理论和数值计算方法,研究了双J-C模型中处于混态的双原子系统粒子布居差的时间演化规律, 讨论了原子初态及腔内光场对粒子布居差演化的影响。计算结果表明:当两腔内的平均光子数相同时, 布居差的演化只与两原子的初态纯度和光场强度有关,与两原子的初始纠缠无关;而当两光腔内的平 均光子数不同时,粒子布居差演化不仅与两原子初态纯度和腔内光场有关,而且还强烈地依赖于两原子的初始纠缠。
量子光学 原子布居数 腔量子电动力学 双J-C模型 扩展Werner态 quantum optics atom’s occupancy cavity quantum electrodynamics double Jaynes-Cummings model generalized Werner state