为了研究准分子激光刻蚀聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的内在机理，将波长为248nm的KrF准分子激光垂直照射到PMMA材料表面，改变激光能量和脉冲数目，在大气背景下进行实验，照射后样品的表面形貌及化学结构用扫描电子显微镜(SEM)、3维形貌分析仪、X射线光电子能谱(XPS)等手段进行分析。 SEM测试表明,在刻蚀区域出现孔状结构，说明刻蚀过程中有气体成分产生。XPS测试表明,激光照射后C1s峰的强度减弱而O1s峰增强，据此推测PMMA侧链上的甲基被刻蚀掉且空气中的O2参与了反应。另外还研究了激光能量和脉冲数目对刻蚀率和表面粗糙度的影响。结果表明，随着激光能量和脉冲数目增加，刻蚀率和粗糙度并不是一直呈现递增的趋势。