为了研究硅基QPD在不同能量密度、不同脉宽激光辐照下的损伤面积、形貌，基于二维显微测量技术，测量了硅基QPD单一象限的损伤面积、形貌随激光能量密度和脉宽的变化。结果表明，在毫秒脉冲激光作用下，硅基QPD产生表面剥落、褶皱、裂纹、熔坑等损伤效果，且主要受入射激光功率密度影响，损伤面积随激光能量密度逐渐增加，随脉宽增加逐渐降低。通过实测分析，得出了不同激光脉宽下，硅基QPD表面形貌损伤阈值。激光脉宽为0.5 ms，能量密度为15.79 J/cm²时，硅基QPD出现熔融损伤；而脉宽为1.0、1.5、2.0、3.0 ms时，硅基QPD出现表面剥落的能量密度值为14.12、33.94、39.76、47.62 J/cm²。