1 西安交通大学1理学院,3生物医学工程所, 陕西 西安 710049
2 西北工业大学应用物理系,陕西 西安 710072
研究了高气压短脉宽XeCl准分子激光器的设计、制作和激光参数测试。在大体积高气压下,采用同步紫外预电离产生辉光放电方法,结合激光器物理设计、电路、光学系统设计,调整气体配比、气压、放电电压,在气体配比为HCl:Xe:He=0.1%:1%:98.9%下,实现了纳秒放电激励的紫外308 nm准分子激光激射,脉冲能量530 mJ,最小脉冲宽度13 ns,矩形光斑2 cm×1 cm,束散角3 mrad,最高重复频率5 Hz,并总结了实验规律。
激光技术 准分子激光 纳秒放电 预电离 辉光放电
