1 中国科学院,大连化学物理研究所,短波长化学激光国家863重点实验室,辽宁,大连,116023
2 大连理工大学,三束国家重点实验室,辽宁,大连,116023
3 中南大学,粉末冶金国家重点实验室,长沙,410083
利用传统光学加工方法,采用陶瓷磨盘和金刚石微粉对国产化学气相沉积(CVD)SiC进行了粗磨、细磨加工;然后,利用颗粒直径从4 μm到1 μm的金刚石研磨膏逐级进行抛光,发现SiC表面存在纳米级划痕;最后,改用颗粒直径为20 nm氧化铝纳米颗粒的碱性水溶液进行抛光,表面粗糙度达到0.6 nm(RMS),表面纳米级划痕得到很好改善,获得了较高表面质量的超光滑表面.
化学气相沉积 SiC材料 光学加工 超光滑表面 纳米加工 表面粗糙度
1 中国科学院青海盐湖研究所
2 朱清时
3 中国科学院大连化学物理研究所
1 中国科学院大连化学物理研究所
2 中国科学院青海盐湖研究所
采用OMA-2系统,测定了脉宽为3微秒的脉冲氙灯在2200～8800(?)波段的光谱分布和光谱效率。 研究了不同放电电压、不同充气压力对脉冲灯光谱输出的影响。结果表明,随放电电压和充氙压力的增加,脉冲氙灯的紫外光谱效率从13％增加到17％左右,紫外总辐射能量也显著提高。
