华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室， 湖北 武汉 430074
采用输出功率8 W的355 nm NdYVO4纳秒激光器和3 W的1030 nm飞秒激光器对0.4 mm的单晶硅的刻蚀进行了对比研究，研究了激光的单脉冲能量密度，脉冲宽度，脉冲耦合率等参数对加工质量和精度的影响。实验结果表明，飞秒激光加工的热效应要小于紫外纳秒激光，同时飞秒脉冲产生了纳米条纹，但随着加工次数的增加，纳米条纹也直接导致了不规则裂纹的产生。这说明飞秒激光的加工优越性也是有条件的，当需要对材料进行大量去除之类的加工时，成本相对较低的紫外纳秒激光可能更为适合。
激光技术 激光微加工 355 nm纳秒激光 1030 nm飞秒激光 单晶硅 纳米条纹
