1 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
2 长春理工大学质量监控与评估中心, 吉林 长春 130022
3 海南师范大学物理与电子工程学院, 海南 海口 571158
1064 nm分布布拉格反射(DBR)半导体激光器具有窄线宽、输出稳定的特性, 在自由空间激光通信用种子光源等方面具有广阔的应用前景。设计了一种单模、窄线宽的1064 nm DBR半导体激光器, 利用金属有机化合物气相沉积技术生长出InGaAs应变量子阱半导体激光器材料, 并制备出腔长为1200 μm的脊型波导1064 nm DBR半导体激光器。当注入电流为70 mA时, 室温下该激光器的连续输出功率可达到7 mW, 3 dB光谱线宽为0.12 nm。
激光器 1064 nm半导体激光器 分布布拉格反射激光器 单模激光器 脊型波导 窄线宽
