分别采用波长为532 nm的短脉冲激光(脉宽6 ns)和超短脉冲激光(脉宽15～20 ps)对蓝宝石进行基本作用规律的研究, 探究了多/单脉冲烧蚀点直径与功率的关系, 分析脉冲数与材料阈值的关系, 确定材料阈值。并且对相关作用机理进行系统的对比分析。研究结果表明, 烧蚀点直径的平方与脉冲峰值功率的对数呈线性关系, 根据关系式计算得出光斑半径与实际测量值相符, 并且材料阈值随脉冲数的增加而降低。纳秒绿激光烧蚀蓝宝石材料主要是基于光热作用的机理, 而皮秒激光烧蚀蓝宝石材料在以“电子态”冷去除的同时, 还兼具一些非线性效应。
532 nm激光 皮秒 纳秒 蓝宝石 阈值 532 nm wavelength picosecond laser nanosecond laser sapphire threshold
沈佳骏 1,2,3,*骆公序 1,2,3潘涌 1,2,3,4刘中俊 1,2,3姜兆华 1,2,3,4
1 上海市激光技术研究所, 上海 200233
2 上海市激光束精细加工重点实验室, 上海 200233
3 先进激光应用联合实验室, 上海 200233
4 上海激光直接物标溯源工程技术研究中心, 上海 200233
基于EdgeWave GmbH 532 nm波长的纳秒激光器, 通过改变激光加工参数进行玻璃切割工艺实验, 研究激光工艺参数对玻璃切割效果的影响。实验表明, 通过对电流大小、填充间隔、分层切割和切割速度等激光参数的优化, 能够加工出边缘光滑、无横向微裂、无碎屑的玻璃基片, 获得较好的良品率。
纳秒激光器 532 nm波长 玻璃切割 工艺参数 切割效果 nanosecond lasers 532 nm wavelength glass cutting process parameters cutting effect
