长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春130022
提出了一种新的半导体激光器增透膜——AlN膜，并用matlab软件模拟分析了不同腔面反射率对激光器输出功率的影响，得到激光器最大输出功率时前后腔面的反射率的最佳值。采用反应磁控溅射技术，利用高纯铝靶(99.999％)和N2+Ar的混合气体在K9玻璃基片上沉积了AlN薄膜。利用Filmetrics系统对薄膜进行光学性能测试，分析了不同工艺参数对薄膜沉积速率和折射率的影响。将最优条件下制得的AlN单层增透膜用于半导体激光器上，光学灾变损伤阈值和器件输出功率都得到了很大的提高。
增透膜 折射率 溅射 灾变性光学损伤 AR film refractivity sputtering COD
深圳天马微电子股份有限公司，广东深圳 518031
针对现有屏蔽光学视窗透过率低、表面反射率高的缺点，提出一种高效屏蔽光学视窗的设计方法。即将ITO材料作为光学介质的一种，采用匹配的多层膜设计原理，将多层ITO 匹配到减反膜系中。通过用Madab语言对膜系进行仿真、优化，实现了反射率低于O．3％，透过率大于99％的光学性能，并通过特殊的结构把多层ITO连接在一起，实现高效电磁屏蔽性能。
电磁屏蔽 光学视窗 减反膜 优化 electromagnetism shield optical window ?s AR film ?S O?p?tim ?ize
