1 中南大学 高性能复杂制造国家重点实验室, 湖南 长沙 410083
2 罗彻斯特大学光学研究所, 纽约 14627
与传统传感器相比, 全光纤马赫泽德尔干涉仪(MZI)传感器, 具有结构简单、分辨率高、稳定性好等优点, 在石油化工、健康监测、生物化学等领域有广泛应用。介绍了MZI全光纤传感器的传感机理,对比了其他的加工方法, 如电弧放电、加热拉伸、CO2激光诱导微变形等的优缺点, 详细介绍了飞秒激光加工得到的MZI传感器的结构形式、折射率和温度等传感性能。重点阐述了飞秒激光加工MZI的研究现状和优点, 并对运用飞秒激光方法加工的MZI进行了总结和展望。
飞秒激光 全光纤MZI传感器 传感特性 Femtosecond laser All fiber MZI sensors Sensing performances
