马程鹏 1汤孟博 1孙琦 1孙秋媛 1[ ... ]匡翠方 1,2,3,*
作者单位
摘要
1 之江实验室 智能芯片与器件研究中心,浙江杭州30023
2 浙江大学 光电科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室,浙江杭州31007
3 极端光学技术与仪器全国重点实验室, 浙江杭州11200
光束指向稳定系统基于对光束位置和角度的控制,能够实现对光束指向的高精度主动控制,在微纳光刻及超分辨成像等领域中发挥着重要的作用。为了实现光束的长时间指向稳定,提出一种分离式调控的小型化光束指向稳定系统,消除了传统方案中双反射镜校正带来的耦合误差,大幅度提升了光束指向精度的控制性能。对比测试结果表明,基于该方法的光束指向稳定系统对光束位置的稳定精度(RMS值)可达0.3 μm,角度稳定精度(RMS值)达到1 μrad;施加一定幅度的主动扰动后的测试结果表明,该系统在较大的光源抖动下仍能保持同一量级的稳定精度。相比于同样测试条件下的两种商业化光束指向稳定系统,其位置抖动与角度抖动性能可提高50%以上。
光束稳定 高精度校正 高精度角度检测 误差分离技术 laser stabilization high-precision correction high precision angle detection error separation technology 
光学 精密工程
2023, 31(11): 1607
作者单位
摘要
1 桂林电子科技大学电子工程与自动化学院, 广西 桂林 541004
2 上海微电子装备(集团)股份有限公司, 上海 201203
基于多块光栅拼接理论,建立了光栅旋转角与衍射光束偏角关系的数学模型,设计了一种基于干涉法的光栅旋转角度检测光路,用Zygo干涉仪实现了光栅0级与1级衍射波前检测,并研究了反射镜安装误差引起的模型误差。实验结果表明,利用理论模型对光栅姿态在0~500 μrad内调整时,光栅间栅线平行度的最大相对测量误差为3.85%。而反射镜俯仰角和偏摆角在0″~20″变化时,所引起的光栅间栅线平行度的最大相对测量误差分别为4.99%和3.77%。
光栅 转角检测 干涉 衍射波前 
激光与光电子学进展
2019, 56(11): 110501
作者单位
摘要
武昌首义学院 信息科学与工程学院, 湖北 武昌 430061
鉴于小角度测量的要求, 采用自准直角度测量技术, 建立自准直光路数学模型, 推导PSD探测像点坐标Y和平面镜偏转角α的方程。PSD小角度测量系统由前置放大、A/D转换电路、采样电路和液晶显示构成。PSD位置传感器输出两路角度信息数据, ADC完成模数转换, 由单片机进行数据运算, 最后, 位置和偏转角的求解结果在液晶屏上显示。仿真结果显示, 前置放大电路性能指标、单片机采样10-2 mrad量级精度均达到了系统的要求。
小角度探测 自准直 small angle detection photoelectric position detector (PSD) PSD auto collimation 
光电技术应用
2016, 31(6): 62
作者单位
摘要
1 南昌航空大学 无损检测技术教育部重点实验室, 南昌 330063
2 中国直升机设计研究所 直升机旋翼动力学国防科技重点实验室, 江西 景德镇 333001
3 江西省核工业地质调查院, 南昌 330038
提出了一种基于双目视觉的直升机旋翼桨叶共锥度检测方法。首先, 采用平面标定算法对双目视觉系统进行标定, 获取摄像机内外参数; 其次, 采集不同桨叶的立体图像对, 并用Bouguet算法对其进行校正, 获取重投影矩阵; 然后, 对立体图像对中的标记点进行检测与匹配, 获取标记点的视差; 最后, 根据双目视觉测量原理计算出桨尖距地面的高度, 实现桨叶共锥度检测。通过对旋翼塔进行多次测量实验, 结果表明该方法具有动态测量、非接触式、操作简单、危险性小和精度高的优点。
双目视觉 旋翼桨叶 标记点 共锥度检测 binocular vision rotor blade marked point pyramid angle detection 
半导体光电
2014, 35(5): 924
作者单位
摘要
天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津 300072
建立了基于DM642的嵌入式线结构光角度视觉检测系统, 用于精确实时地在线检测线结构光角度。首先,将以CCD为图像传感器的装置与基准平面固定,以线结构激光发生器为光源的装置与被测平面固定; 用CCD采集投影屏上的线结构光图像,再由DM642进行实时处理得到线结构光的角位置,并对角位置进行标定来获得被测平面与基准平面的夹角。然后,分析系统误差源,得出系统主要误差是由CCD感光面阵平面与投影屏平面之间的夹角α所致。最后,针对此误差项建立数学模型,并根据模型采用圆光栅控制激光发生器精确转动3个角位移,由圆光栅所得的精确角位移值和对应的图像检测值计算出标定夹角α的大小和方向,并对由此夹角误差导致的检测误差进行精确补偿。实验结果表明:在α为0.331 97°时,经误差补偿后的圆光栅角位移值和对应的图像检测值之间的转角误差由22.522%减小到0.595%,系统测量的不确定度为0.051 44°。
角度检测 机器视觉 线结构光 误差补偿 angle detection machine vision line structured light error compensation DM642 DM642 
光学 精密工程
2013, 21(10): 2480
作者单位
摘要
长春希达电子技术有限公司,吉林 长春 130033
对于平板显示产品来说,视角是显示屏检测方面一个很重要的指标。本文针对全彩LED显示屏的特点,提出了一种新的视角检测方法。该方法利用LED专用检测评估平台得到显示模块在三维空间上各个角度下的基于像素级别的逐点亮度值,然后得到各个基色像素级别的空间亮度分布曲线,对该亮度分布曲线进行评估可以客观准确地给出整个屏幕视角评估分析结果。实验证明,该方法检测精度高,客观合理,可有效评估LED显示屏不同视角条件的显示质量。
LED显示屏 视角检测 亮度分布曲线拟合 LED display panel visual angle detection brightness distribution curve 
现代显示
2012, 23(9): 121
崔文煜 1,2,*张运杰 1,2易维宁 1,2洪津 1,2乔延利 1,2
作者单位
摘要
1 中国科学院安徽光学精密机械研究所, 安徽 合肥 230031
2 中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室, 安徽 合肥 230031
多角度和偏振遥感可解决传统遥感所不能解决的大气探测和目标识别等方面的问题。为实现气溶胶偏振信息的多角度探测,提出了一种新型的多角度偏振辐射计。该辐射计可以在多个角度上测量大气的偏振光谱信息,为大气光学和微物理特性的高精度反演提供重要的实测数据源。作为航天载荷的原理样机,多角度偏振辐射计的光机系统由多路并行望远光学模块组成,可在110°视场范围内,以0.5°间隔实现偏振信息的多角度探测;采集控制与数据传输系统由双控制核心和高速接口组成,大大提高了系统的并行处理能力和数据传输速度,可在高速运动的平台上实现多路偏振光谱信息的同步采集与实时传输,避免了由平台移动和信号的异步采集引入的误差。航飞试验结果表明,多角度偏振辐射计可实现气溶胶偏振信息的高精度探测。
遥感 偏振遥感 多角度探测 同步采集 
光学学报
2012, 32(8): 0828003
作者单位
摘要
哈尔滨工业大学 可调谐(气体)激光技术国家级重点实验室,黑龙江 哈尔滨 150086
由于轻小型卫星光通信系统中潜望镜的光学结构随粗瞄机构姿态变化而发生改变,使得相应的跟踪算法变得较为复杂,本文对潜望镜式星间激光通信终端粗跟踪算法进行研究以提高粗瞄机构的跟踪精度。利用矩阵光学方法,建立了潜望镜式光通信终端中光学器件的矩阵模型,在获得CCD测角模型后,推导了基于CCD测角的粗瞄装置自动跟踪算法模型,实现了潜望镜式光通信终端粗瞄装置对目标光束的快速跟踪,并对模型进行了相应的实验验证。实验结果表明,该CCD测角跟踪模型正确地反应了实际终端中的光学传递关系,能够正确地对CCD图像位置信号进行处理并获得稳定跟踪角度,平均跟踪精度优于10 μrad,满足卫星激光通信中稳定可靠、高精度粗跟踪的要求。本文提出的方法对类似的光学系统具有借鉴意义。
卫星光通信 潜望镜 电荷耦合器件(CCD) 测角算法 瞄准、捕获、跟踪(PAT)系统 inter-satellite optical communication periscope Charge Coupled Device(CCD) angle detection algorithm pointing acquisition tracking (PAT) system 
光学 精密工程
2012, 20(2): 270
作者单位
摘要
南京邮电大学 光电工程学院, 微流控光学技术研究中心, 南京 210003
根据法拉第效应的非互易性原理, 分析了磁旋光反射腔交流调制输出倍频信号相关的特性; 具体研究了倍频信号幅度及角度检测灵敏度与调制角幅度θ0和反射腔反射率R的关系。研究结果表明: 当调制角幅度较小时, 输出倍频信号幅度随反射率R的增加而增加, 最大值是正交调制法的18倍左右; 利用倍频信号检测角度的灵敏度与正交法相比也得到多倍提高, 且随反射率R的增加而增加。该技术提供了一种交流磁光调制微小角度的检测方法, 有望在相关领域获得较好地应用。
应用光学 旋光角检测 交流磁光调制 倍频信号 法拉第效应 applied optics optical rotation angle detection AC magneto-optical modulation double-frequency-signal Faraday Effect 
光学技术
2011, 37(3): 295
作者单位
摘要
国防科学技术大学理学院, 湖南 长沙 410073
针对传统莫尔条纹技术在测量物体偏转角度中不能对多维角度变化进行测量的问题,采用了一种分区间设计的组合光栅方法,并结合光学自准直成像方法构建了一种新的实验系统装置,利用该系统通过测量莫尔条纹的变化实现了对被测量物体偏转角度的三维测量,对合作光学反射镜的偏转角度测量精度优于1″,绕轴转动测量精度优于2″。
组合光栅 莫尔条纹 光学自准直 三维测角 combined grating moiré fringe optic auto-collimation 3-dimensional angle detection 
光学与光电技术
2010, 8(3): 39

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