作者单位
摘要
1 中国科学院 福建物质结构研究所, 福建 福州350002
2 中国科学院大学, 北京100049
对AlGaInAs多量子阱1 300 nm FP激光器进行反射式倒装封装,在热沉上靠近激光器出光端面约10~20 μm的区域采用Au反射层,对器件垂直方向出光进行反射。测试结果显示,与常规封装相比,采用这种结构封装芯片垂直发散角从34.5°降低至17°,器件单模光纤的平均耦合功率从1 850 μW提高至2 326 μW,耦合效率从21.1%提高到26.5%。对两种激光器进行光电参数的测量,结果表明:与常规封装器件相比,采用反射式倒装结构器件的饱和电流从135 mA提高至155 mA,饱和输出功率从37 mW提高至42 mW,热阻从194 K/W降低至131 K/W。最后对两种器件在95 ℃环境温度、100 mA电流下进行加速老化实验,老化结果显示:在老化条件下,器件衰退系数从常规封装的4.22×10-5降低至1.06×10-5,寿命从5 283 h提高至21 027 h。
AlGaInAs多量子阱激光器 倒装 Au反射层 发散角 加速老化 AlGaInAs MQWs laser flip chip Au reflector divergence angle accelerated aging 
发光学报
2018, 39(4): 534

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