基于抽运光非线性小尺度自聚焦效应,分析了光克尔介质类型、抽运光光束质量和光克尔介质长度对束匀滑效果的影响。研究结果表明,在基于动态波前调控的径向匀滑方案中,当抽运光的峰值强度一定时,与CS2相比,采用硝基苯作为光克尔介质可获得较好的束匀滑效果。在实际应用中,抽运光的小尺度自聚焦效应会随着抽运光峰值强度和光克尔介质长度的增加而加剧,因此需要合理选择抽运光和光克尔介质参数,以获得较好的束匀滑效果,避免抽运光小尺度自聚焦效应的影响。
激光光学 惯性约束聚变 径向束匀滑 小尺度自聚焦 均匀性
1 中国原子能科学研究院 高功率准分子激光实验室, 北京 102413
2 Department of Experimental Physics, University of Szeged, Domter 9, H-6720 Szeged, Hungary
为了增加靶上的功率密度和耦合效率，基于饱和增益开关原理，发展了一种适用于放大自发辐射平滑光束的脉宽压缩方法。利用该方法，在赛格德大学的一台放电泵浦KrF准分子激光器上进行了实验，将该激光器输出的脉宽为14.5 ns的放大自发辐射光束压缩到了7.5 ns，并且保持了光束原有的均匀性。
KrF准分子激光 放大自发辐射 脉宽压缩 光束均匀性 KrF excimer laser amplified spontaneous emission pulse compression beam uniformity
广东工业大学物理与光电工程学院, 广东 广州 510006
基于351 nm XeF激光大面积投影成像光刻系统，通过对其光学系统包括光学照明系统和折叠投影系统进行光学性能测试。由激光经过柱面透镜、微透镜阵列均束器以及投影折叠物镜之后产生的能量及光束质量变化，将准分子激光光束均匀性评价指标部分运用到光学系统的评价之中，得到光学系统在不同关键位置的能量分布曲线以及平顶因子关系图，表明微透镜阵列均束器虽保证了整个光学系统各处光斑的均匀性，但衍射却造成了能量利用率的降低。同时，通过对印制电路板(PCB)和玻璃(ITO)进行曝光和显影实验，表明该双远心共焦投影光学系统，只要控制使均匀输出的能量符合曝光剂量，就能够满足分辨率的要求。
成像系统 准分子激光 光刻 紫外激光投影成像 光束均匀性 平顶因子 激光与光电子学进展
2012, 49(7): 072201
中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
详细研究了准分子激光光束均匀性的各项评价指标,加工窗口描述了加工任务本身对光束均匀度的要求;能量分数回答了具体加工窗口即均匀度要求下的能量利用率问题;平顶因子则描述了整个光斑能量分布范围内的均匀性问题.利用激光波面分析仪对不同均匀器所获得的均匀光束进行评价比较,蝇眼透镜均匀器能量利用率高,整个光斑内的均匀效果好,但最佳均匀截面的位置动态范围小;组合棱镜均匀器均匀截面动态范围大,但整体均匀效量较差.
准分子激光 光束均匀性 加工窗口 平顶因子 Excimer laser Beam uniformity Process window Top-hat factor
华中科技大学激光技术国家重点实验室,湖北,武汉,430074
为了使高功率、大增益的CO2激光器光束均匀化,提出了一种新方法:在不增加插入损耗的前提下,利用平凹谐振腔中凹镜的曲率半径周期改变使激光光束的模式不断变化,从而使叠加的光束在时间上实现了光滑化处理.
激光技术 光束均匀化 高增益激光器 周期振动
