广东工业大学机电工程学院, 广东 广州 510006
采用光纤脉冲激光器对化学气相沉积金刚石薄膜进行了锥形微孔阵列加工，研究了激光扫描速度、扫描次数和脉冲宽度等参数对微孔形状和尺寸的影响规律。研究发现，激光扫描速度对微孔尺寸的影响不明显。而激光扫描次数对微孔出口直径影响明显。随着激光脉宽的增加，微孔深度和出口直径均增加，但微孔锥度减小。
激光技术 阵列锥形微孔 光纤激光 CVD金刚石薄膜 微细加工 激光与光电子学进展
2016, 53(11): 111402
武汉工程大学 材料科学与工程学院， 湖北省等离子体化学与新材料重点实验室， 武汉 430073
利用Nd：YAG型金刚石精密激光切割机，采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理，利用扫描电子显微镜(SEM)、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后的金刚石表面进行表征，研究了激光充电电压和焦点位置对扫描凹槽宽度和深度的影响，以及扫描间距对平整化效果的影响。研究结果表明：扫描凹槽宽度随激光充电电压的升高而增大；凹槽深度随激光充电电压的升高而增大，随偏焦量的增大而增大。激光轴向偏焦法对CVD金刚石膜进行平整化处理后，其粗糙度显著减小，利用氢等离子体对其表面进行刻蚀处理，能够有效去除表层石墨，从而达到理想的平整化效果。
激光 轴向偏焦法 平整化 CVD金刚石膜 laser axial offset-focus flatting CVD diamond film
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800
Chinese Journal of Lasers B
1998, 7(1): 73
