浙江师范大学 信息光学研究所, 浙江 金华 321004
针对带倾斜相移误差的闭合干涉图,提出一种非迭代的高精度相位提取方法.该方法用傅里叶变换估计闭合条纹的相位,并用图像分割校正相位的符号,然后利用Zernike多项式拟合确定倾斜相移量,最后用最小二乘拟合得到高精度相位.数值模拟结果表明:该方法的相位提取误差随着干涉图中条纹根数的增多而减小;当干涉图中条纹根数为4.5时,倾斜相移的估计误差为0.37%.实验结果表明该方法的残余误差均方根值为0.121 7rad.该方法精度高,且无需迭代计算,可应用于相移干涉测量.
相移干涉测量 条纹分析 傅里叶变换 闭合干涉图 倾斜相移误差 Phase shifting interferometry Fringe pattern analysis Fourier transform method Closed interferogram Tiltshift error.
浙江师范大学 信息光学研究所, 浙江 金华 321004
提出一种有效的单帧闭合条纹解调方法, 该方法采用傅里叶变换、带通滤波器和傅里叶逆变换估得初始相位, 然后通过图像分割、相位符号校正和Zernike多项式拟合得到高准确度相位分布.用图像分割和相位符号校正解决了相位符号不确定性, 用Zernike多项式拟合抑制了分割线附近的局部相位误差.数值分析了残余相位误差与干涉图参量(如倾斜量、离家量和随机噪音)之间的定性关系, 结果表明: 该方法所得相位与ZYGO 移相干涉仪测试结果吻合较好, 残余相位误差小于参考值的1/10, 验证了该方法的有效性.
干涉测量 相位解调 闭合干涉图 傅里叶变换 Interferometry Phase demodulation Closed interferogram Fourier transform