浙江师范大学 信息光学研究所, 浙江 金华 321004
针对带倾斜相移误差的闭合干涉图，提出一种非迭代的高精度相位提取方法.该方法用傅里叶变换估计闭合条纹的相位,并用图像分割校正相位的符号，然后利用Zernike多项式拟合确定倾斜相移量，最后用最小二乘拟合得到高精度相位.数值模拟结果表明：该方法的相位提取误差随着干涉图中条纹根数的增多而减小；当干涉图中条纹根数为4.5时，倾斜相移的估计误差为0.37%.实验结果表明该方法的残余误差均方根值为0.121 7rad.该方法精度高，且无需迭代计算，可应用于相移干涉测量.
相移干涉测量 条纹分析 傅里叶变换 闭合干涉图 倾斜相移误差 Phase shifting interferometry Fringe pattern analysis Fourier transform method Closed interferogram Tiltshift error.
