1 长春理工大学 光电工程学院 光电工程国家级实验教学示范中心,长春 130022
2 辽沈工业集团有限公司,沈阳 110045
依据半导体光电导效应分析了光致导电复合网栅调控机理, 阐明了光致导电复合网栅的设计思路与结构特点.结合透明衬底蓝宝石基片, 选取雷达波2~18 GHz, 红外3~12 μm波段为研究对象对复合网栅结构参数进行优化和仿真, 当网栅参数周期由5 mm变为2.5 mm、边长由4.9 mm变为2.4 mm时, 网栅的中心谐振频率从13.2 GHz变为14 GHz.采用衍射光栅同轴对准原理保证两次lift-off光刻工艺的对准精度, 制备的网栅周期误差小于6 μm, 边长误差小于5 μm, 满足实验要求.复合网栅的光学和电学性能测试结果为: 加载复合网栅的蓝宝石衬底样件与未加载的相比, 红外透过率曲线整体走势未发生变化, 透过率整体下降了7.8%左右, 与单独金属网栅相比相差3.4%, 符合红外透过损失规律.该复合网栅在敏感波长为600 nm光照射下测得的中心谐振频率从13.22 GHz变为14.03 GHz, 与仿真结果基本一致, 验证了光照对复合网栅电磁性能调控的可行性.
光学表面 复合网栅 光致导电 光刻 红外 Optics at surface Composite mesh Photoconductive Lithography Infrared
