减反射微纳结构表面具有宽光谱、宽角度抗反射的优异光学性能，在光电池、光探测领域有广阔的应用前景。但微纳结构表面的周期结构单元微小，容易受到外界环境影响而损伤。为增强微纳结构表面微纳结构单元的机械稳定性，提出并制备了复合网栅减反射微纳结构表面，在硅基底上构建氧化硅复合网栅结构，实现了对内部微纳结构单元的保护作用。经过光学反射率测试，所制备的复合网栅微纳结构表面在3~5 μm宽谱段、0°~40°宽角度内的平均反射率小于4%。此外，利用胶带剥离法测试网栅结构对微纳结构的保护作用，实验结果表明，带有网栅结构的微纳结构形貌并未产生损伤且减反射性能保持良好，最终证明设计的网栅结构具有力学保护性能。该研究将有助于推动微纳结构表面在高精度光学探测领域内的应用。

依据半导体光电导效应分析了光致导电复合网栅调控机理, 阐明了光致导电复合网栅的设计思路与结构特点.结合透明衬底蓝宝石基片, 选取雷达波2~18 GHz, 红外3~12 μm波段为研究对象对复合网栅结构参数进行优化和仿真, 当网栅参数周期由5 mm变为2.5 mm、边长由4.9 mm变为2.4 mm时, 网栅的中心谐振频率从13.2 GHz变为14 GHz.采用衍射光栅同轴对准原理保证两次lift-off光刻工艺的对准精度, 制备的网栅周期误差小于6 μm, 边长误差小于5 μm, 满足实验要求.复合网栅的光学和电学性能测试结果为: 加载复合网栅的蓝宝石衬底样件与未加载的相比, 红外透过率曲线整体走势未发生变化, 透过率整体下降了7.8%左右, 与单独金属网栅相比相差3.4%, 符合红外透过损失规律.该复合网栅在敏感波长为600 nm光照射下测得的中心谐振频率从13.22 GHz变为14.03 GHz, 与仿真结果基本一致, 验证了光照对复合网栅电磁性能调控的可行性.