作者单位
摘要
1 长春理工大学 理学院 高功率半导体激光国家重点实验室, 长春30022
2 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏苏州1513
针对氮化铝微环谐振腔实现临界耦合条件困难的问题,设计并制备了氮化铝弯曲耦合微环谐振腔。分析了微环谐振腔耦合系数公式,分别阐述了多种提高耦合强度方案的优势和劣势,最终选用弯曲耦合结构来增强耦合强度,得到了在宽耦合间隙下,实现临界耦合条件的解决方案。在蓝宝石衬底上生长了高质量的氮化铝单晶薄膜,选用导电胶克服材料的不导电性,并利用电子束曝光系统将弯曲角度为40°、耦合间隙0.19 μm、波导宽度0.41 μm的微环谐振腔图形化,分析优化多项氮化铝刻蚀参数,最终将图形转移至氮化铝层,得到了耦合间隙均匀、侧壁平整的弯曲耦合氮化铝微环谐振腔。该研究为氮化铝微环谐振腔实现临界耦合条件提供了选择参考。
氮化铝 微环谐振腔 临界耦合 弯曲耦合 电子束曝光 Aluminum nitride Microring cavity Critical coupling Bending coupling Electron beam exposure 
光子学报
2021, 50(5): 86
成凡 1,2,*张鹏飞 1,2王鑫 1,2张天才 1,2
作者单位
摘要
1 量子光学与光量子器件国家重点实验室,光电研究所,山西大学,山西 太原 030006
2 极端光学协同创新中心,山西大学,山西 太原 030006
在实验上研究了共振于铯原子跃迁线附近的微环芯腔与锥形纳米光纤的耦合特性。通过精密控制微环芯腔与锥形纳米光纤的相对位置,实现了两者的欠耦合、临界耦合和过耦合的精确控制。当微环芯腔与锥形纳米光纤间距为0.6μm时,系统达到临界耦合,透射率为0.3%±0.3%,耦合效率为99.7%±0.3%。由微环芯腔透射光谱得到微环芯腔的自由光谱区为1067±5 GHz,等效腔长为223±1 μm,线宽为2.9±0.1 GHz,本征品质因数为(62±06)×104。随着微环芯腔与锥形纳米光纤间距的减小,微环芯腔的线宽逐渐增大,共振频率发生红移,频率移动为19.2±0.1 GHz。该研究找到了有效控制微环芯腔与锥形纳米光纤耦合状态的方法,为下一步实现微环芯腔与原子间强耦合奠定了实验基础。同时该研究加深了人们对微环芯腔不同耦合状态的认识,为研究欠耦合和过耦合状态提供了实验基础。
微环芯腔 锥形纳米光纤 临界耦合 microtoroidal resonator tapered nanofiber critical coupling 
量子光学学报
2017, 23(1): 74
作者单位
摘要
1 广州民航职业技术学院 飞机维修工程学院, 广州 510000
2 华东交通大学 电气与电子工程学院, 南昌 330013
为提高相位调制器的调制效率,结合单直波导光学环腔与带反馈的马赫曾德,提出用环形谐振腔等效为马赫曾德的上、下臂的新结构.采用耦合模理论推导了该模型的输出相位及归一化光强输出公式,数值分析了传输损耗因子、耦合角度对归一化输出光强及输出相位的影响.分析表明,输出光相位谱线随敏感环相位改变呈周期性变化,当耦合角度逐渐增大时,输出光相位谱线变尖锐,此时若要使输出相位产生π的相位差,敏感环的相位调制角度需较大.当传输因子较小时,相位谱线变化比较平缓,其最大值与最小值之间的差值不满足π的相位差.根据分析结果对结构参量进行优化,发现通过调节敏感环结构的耦合系数可以提高调制效率,仿真结果表明,当敏感环相位变化0.1π时,可以输出π的相位变化,同时归一化光强保持在0.9,满足了差分相移键控所需要的相位变化和信号幅度一致的要求,为进一步研究相位调制器提供理论依据.
耦合系数 差分相移键控 过耦合 欠耦合 临界耦合 Coupling coefficient Differential phase shift keying Over coupling Under coupling Critical coupling 
光子学报
2015, 44(8): 0823003

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