中国科学院上海技术物理研究所 红外成像材料与器件重点实验室,上海200083
研究了HgCdTe液相外延薄膜的纵向组分分布对探测器响应光谱的影响.提出了一种计算HgCdTe红外探测器响应光谱的模型,模型中综合考虑了薄膜的实际组分分布以及光在器件各层结构中的相干、非相干传输.计算结果表明,在探测器的光吸收区,HgCdTe液相外延薄膜的组分梯度及其产生的内建电场可以显著地提高器件的响应率.通过与实验数据进行比较,验证了模型的适用性.
HgCdTe红外探测器 纵向组分分布 响应光谱 光传输模型 HgCdTe IR detector longitudinal composition distribution spectral response model of light transmission
针对HgCdTe焦平面红外探测器封装的特殊性, 提出了芯片粘接胶的选用原则, 影响粘接质量的主要因素, 以及粘接工艺优化方法。提出了用于封装HgCdTe MW 320×256探测器的低温胶X1, 并对该胶做了一系列可靠性实验。实验证明, 低温胶X1满足该探测器的封装要求。
HgCdTe红外探测器 封装 芯片粘接 可靠性 HgCdTe IR detector package die attach reliability