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材料与薄膜
钬激光器用高反膜的制备及其工艺研究
宋永香 *黄建兵 于振坤 齐红基 
作者单位
摘要
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
采用红外石英作为基底材料，利用SiO2/ZrO2膜系制备2100 nm波段钬激光器0°高反膜。提出一套完整的优化工艺，解决了薄膜的材料（膜料和基底）本身的水吸收，克服了薄膜表面光洁底差、散射吸收损耗大、容易破裂等问题，镀制出的薄膜在激光使用波长透射率小于0.1%，粗糙度小于1 nm，并且具有长期稳定性好，可靠性高等特点。
薄膜 钬激光器 高反膜 优化 
PDF全文 Full Text
中国激光
2011, 38(11): 1107003
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