中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
采用红外石英作为基底材料，利用SiO2/ZrO2膜系制备2100 nm波段钬激光器0°高反膜。提出一套完整的优化工艺，解决了薄膜的材料（膜料和基底）本身的水吸收，克服了薄膜表面光洁底差、散射吸收损耗大、容易破裂等问题，镀制出的薄膜在激光使用波长透射率小于0.1%，粗糙度小于1 nm，并且具有长期稳定性好，可靠性高等特点。
薄膜 钬激光器 高反膜 优化 中国激光
2011, 38(11): 1107003
中国科学院,上海光学精密机械研究所,光学薄膜技术研究与发展中心,上海,201800
用电子束蒸发沉积方法在X切LBO(X-LBO)晶体上镀制了两种不同膜系结构的1 064和532 nm倍频增透膜,其中一种膜系结构为基底/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,另一种为基底/0.5Al2O3/ZrO2/Y2O3/Al2O3/SiO2/空气,两种膜系结构的主要差别在于有无氧化铝过渡层.测量了薄膜的反射率光谱曲线,发现两种增透膜在1 064和532 nm处的反射率均小于0.5%,实际镀制结果与理论设计曲线的差异主要是由材料折射率的变化引起的.且对样品在空气环境中进行了温度为473 K的退火处理,结果发现两种膜系结构均表现了较优异的光学性能,氧化铝过渡层的加入使薄膜具有强的热应力性能.
薄膜 LBO晶体 倍频增透膜 过渡层 退火 热应力 热膨胀系数
中国科学院,上海光学精密机械研究所,上海,201800
对以K9玻璃为基底,采用ZrO2和SiO2为高低膜料来制备棱镜偏振膜,并进行膜系优化设计.设计指标为:波长540nm处满足Tp＞99%,Ts＜1%.优化结果表明,膜系以H3L(HL)13H3LH为最佳膜系.测试结果表明,此膜系完全满足设计指标,偏振性能优良.探讨了参考波长对偏振膜工作带宽的影响.
棱镜 偏振膜 优化 带宽
1 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800
2 中国科学院研究生院,北京,100039
探讨了不同规律的非均匀性对单层膜的光谱特性的影响,与均匀单层膜对比发现:折射率正变引起透射率的极大值减小,折射率负变引起透射率的极大值变大,当非均匀性很小时,透射率的极小值基本不变.对实验制备的单层膜从实验和理论上进行了对比并给出了较好的拟合,发现在薄膜和基底的界面处存在一过渡层,过渡层可近似为线性,并从理论上给予了分析解释.
非均匀性 拟合 光谱特性 Inhomogeneity Simulate Spectral characteristics
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
水晶波片是一种双折射率的晶片,因此,在镀制增透膜时,不但要考虑其双折射率的增透效果,而且需满足晶体ο光及e光的位相角延迟问题。从优化膜系设计,选择膜料,改变工艺来镀制增透膜, 目前已基本满足水晶波片的使用要求,并形成小批量生产。
水晶波片 增透膜 位相延时角
中国科学院上海光学精密机械研究所, 上海 201800
运用离子溅射沉积技术制备光学增透膜,着重研究离子溅射技术对制备的薄膜性能的影响, 包括表面形貌、 折射率、薄膜弱吸收、薄膜结构等性能,分析离子溅射技术的特点及制备薄膜的局限性。
离子溅射 增透膜 表面形貌 弱吸收 薄膜结构
对白宝石(Al2O3)和石英(SiO2)窗口的性能进行了比较,并在白宝石上镀制增透膜,进行初步的判断实验,取得了良好的效果,同时对存在的问题进行了分析,指出白宝石是一种比较有前途的高功率激光窗口材料.
白宝石 石英 增透膜
