1 莆田学院 电子信息工程系，福建 莆田 351100
2 厦门大学 物理与机电工程学院，福建 厦门 361005
基于法布里-帕罗腔的干涉原理，采用微机电系统技术加工制作了一种光纤微机电系统压力传感器.采用浓硼扩散自停止腐蚀和磁控溅射的方法，制备厚度为6 μm、机械灵敏度为0.502 μm/MPa的传感器敏感膜.基于强度解调技术，利用干涉腔的反射功率与压力的关系对压力进行解调.分析了腔长变化对反射率的影响，确定传感器线性工作点的波长，建立稳定的压力传感测试系统.测试结果表明，该传感器压强最小分辨率为62 Pa,灵敏度达到0.51 nW/KPa，具有良好的线性度、灵敏度和重复性，适用于人体内压力测量和口腔义齿压力测量.
光纤F-P传感器 硼硅薄膜 机械灵敏度 反射率 强度解调 Optical fiber F-P pressure sensor Boron silicon film Mechanical sensitivity Reflectance Intensity-demodulation technology
