黄光激光器作为一种接近人眼敏感区域的激光器在诸多领域都发挥着重要的作用，而谐振腔又是激光器中重要组成部分.本文以Nd∶YVO4 (c-cut)晶体为基底，利用真空镀膜设备研制出四波段腔面膜.通过分析膜系设计过程中膜层电场强度和优化膜系，使膜层中驻波场强得到合理分布，从而在理论上减小膜层损伤的可能性；通过TFCalc软件对测试结果进行工艺反馈分析，经过多次模拟实验，发现在不同控制波长下，采用相同监控方法监测不同的膜厚比例系数，通过调整工具因子解决了光谱曲线漂移的问题，制备出膜层牢固、化学性能稳定、满足四个波段光谱输出的黄光激光器腔面膜.
薄膜光学 腔面膜 膜系设计 黄光激光器 掺钕钒酸钇晶体 Thin films Cavity surface film Interference cut-off filter film Yellow laser Nd∶YVO4
长春理工大学光电工程学院， 吉林 长春 130022
为了提高黄光激光器的信噪比，采用Ta2O5和SiO2作为高低折射率材料，通过电子枪蒸发及离子辅助沉积技术，利用制备的589、1064、1178、1342 nm波长处分别有特定透射率的干涉截止滤光片对无用光信号进行过滤。在实际镀制过程中，由于沉积工艺条件不同，导致材料折射率的不稳定。另外监控方法易引起误差.通过调整优化工艺参数并调整膜系，有效控制膜厚监控精度，提高了对应波长的光学性能。经过高温、潮湿等恶劣环境测试，该滤光片满足黄光激光器的使用要求。
薄膜 干涉截止滤光片 膜系设计 监控误差 黄光激光器
