作者单位
摘要
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 合肥 230009
众所周知由于两个干涉臂光路不匹配和参考镜面与被测表面的离焦, 要得到相干长度非常短的 Linnik白光干涉仪的干涉条纹是非常困难的。本文提出了一种自动调节的方法来解决这个问题。为了实现参考镜面和被测表面的对焦, 在商用 DVD读取头的基础上, 对其像散法进行改进, 具体方法是对和信号 SS设定一个阈值, 通过此阈值对归一化后的 FES曲线(NFES)进行裁剪, 从而获得一个与离焦距离成单调关系的曲线 (TNFES), 其过零点对应的就是焦点。经过实验证明, 改进后的自动对焦系统的动态范围为 190 μm, 平均灵敏度 70 mV/μm, 平均标准偏差 0.041 μm, 分辨率 4.4 nm, 不确定度 55 nm。此外为了最小化两个干涉臂的光程差, 本文采用均方根 RMSFC算法来计算成像在 CCD上的干涉条纹的对比度, 通过找到其最大值来最小化光程差。实验证明本文提出的自动方法可以有效地获得 Linnik白光干涉仪的干涉条纹。
自动对焦 Linnik白光干涉仪 DVD读取头 FES曲线 autofocus Linnik white light interferometry DVD pickup head FES curve 
光电工程
2012, 39(11): 8

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