合肥工业大学仪器科学与光电工程学院, 合肥 230009
众所周知由于两个干涉臂光路不匹配和参考镜面与被测表面的离焦, 要得到相干长度非常短的 Linnik白光干涉仪的干涉条纹是非常困难的。本文提出了一种自动调节的方法来解决这个问题。为了实现参考镜面和被测表面的对焦, 在商用 DVD读取头的基础上, 对其像散法进行改进, 具体方法是对和信号 SS设定一个阈值, 通过此阈值对归一化后的 FES曲线(NFES)进行裁剪, 从而获得一个与离焦距离成单调关系的曲线 (TNFES), 其过零点对应的就是焦点。经过实验证明, 改进后的自动对焦系统的动态范围为 190 μm, 平均灵敏度 70 mV/μm, 平均标准偏差 0.041 μm, 分辨率 4.4 nm, 不确定度 55 nm。此外为了最小化两个干涉臂的光程差, 本文采用均方根 RMSFC算法来计算成像在 CCD上的干涉条纹的对比度, 通过找到其最大值来最小化光程差。实验证明本文提出的自动方法可以有效地获得 Linnik白光干涉仪的干涉条纹。
自动对焦 Linnik白光干涉仪 DVD读取头 FES曲线 autofocus Linnik white light interferometry DVD pickup head FES curve
采用磁控溅射的方法在蓝宝石衬底上制备了氧化铟锡(ITO)透明氧化物薄膜;研究了不同厚度薄膜的结构、光学和电学特性。经X射线衍射(XRD)测量,发现在蓝宝石衬底上生长的ITO薄膜呈现了较高的(222)择优取向;随着膜层厚度的增加,该衍射峰对应的2θ衍射角逐渐向大角度方向移动,同时该衍射峰的半峰全宽逐渐减小,平均晶粒尺寸增大。 经光学透射光谱测量,发现随着膜层厚度的增加,光学透过率逐渐减小。膜层厚度为0.2 μm时,可见光透过率超过80%,当膜层厚度为0.8 μm时,可见光透过率下降到60%。电学测量结果表明,随着膜层厚度的增加,薄膜电阻率逐渐减小。膜层厚度为0.2 μm时,电阻率为9×10-4 Ω·cm, 膜层厚度为0.8 μm时,电阻率为5.5×10-4 Ω·cm。
氧化铟锡 磁控溅射 X射线衍射 光透过率 电阻 ITO magnetron sputtering XRD transmittance resisitivity
介绍了国内外近贴聚焦X射线影像增强器和相应的Lixiscope系统,指出了相应的技术指标和特点,给出了改进Lixiscope的技术途径和应用前景。
医学诊断学 近贴聚焦 X射线影像增强器 低强度X射线影像仪