天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
描述了一种用于微机电系统(MEMS)纳米级微运动测量的Mirau显微干涉系统.该系统利用商业化的Mirau显微干涉仪,它直接安装在光学显微镜上,用于测量一个表面微加工水平谐振器的三维运动.面内运动取决于亮场在最佳焦平面处的图像,而离面运动则取决于频闪得到的干涉图像,该图像在物镜纳米定位器的8个不同位置处得到.实验结果表明了系统进行面内和离面运动测量的纳米级分辨力.
微机电系统 Mirau显微干涉仪 面内运动 离面运动 频闪照明 Microelectromechanical systems （MEMS Mirau microscopic interferometer In-plane motion Out-of-plane motion Stroboscopic illumination
