1 天津大学精密仪器与光电子工程学院光电信息技术教育部重点实验室，天津 300072
2 海信视像科技股份有限公司，山东 青岛 266000
在液晶电视显示模组中，多层背光膜片与像素面板均存在周期性结构，组合使用时会产生明显的莫尔条纹，这会严重影响显示效果。建立液晶显示（LCD）模组中莫尔条纹的理论模型，并进行仿真分析，以探寻减弱或消除莫尔条纹的方法具有重要的工程意义。基于Zemax建立双层棱状膜片莫尔条纹模型，并加入眼睛观测模型，以模拟人眼对LCD屏幕中莫尔条纹的观测效果。然后，在MATLAB中构建背光膜片与像素面板的理论模型，通过改变背光膜片和面板的周期尺寸、偏转角度等参数，模拟计算出莫尔条纹的尺寸和角度等参数，并综合考虑人眼观测确定莫尔条纹在显示中的影响。
计量 莫尔条纹 液晶显示模组 棱状膜片 Zemax模拟 MATLAB仿真 光学学报
2022, 42(20): 2012004
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学, 北京 100049
随着光刻技术向10 nm及以下工艺节点的延伸, 光刻工艺对套刻精度提出了更高的要求, 相应的对准精度的要求已经达到亚纳米量级。提出一种基于自相干叠栅条纹的光刻机对准方法, 其原理是利用对准系统的光学结构将位相型光栅对准标记的同级次衍射光束进行分束和转像, 在对准系统像面上形成两组周期不同的干涉条纹, 这两组干涉条纹进一步干涉叠加形成自相干叠栅条纹, 组成自相干叠栅条纹的两组干涉条纹随对准标记的移动向相反方向移动, 并将对准标记的位移量进行放大, 从而提高对准标记位置测量的精度。通过对自相干叠栅条纹图像进行傅里叶变换和相位提取, 分析其相位信息得到对准标记的位置。仿真结果表明, 对准精度和对准重复精度分别可以达到0.07 nm和0.11 nm。
测量 光刻 套刻 对准 叠栅条纹 中国激光
2017, 44(12): 1204006
光的干涉是现代检测计量的重要手段之一,如何精确地提取干涉条纹是确保该类仪器检测精度的关键。提出了一种非亮度均衡条件下干涉条纹的提取方法。首先,在分析阈值化分割条纹的缺陷的基础上,采用一种自适应亮度均衡方法,有效地避免常规阈值化操作所导致的部分条纹丢失和断裂问题;然后,为准确地提取条纹的位置信息,根据图像连通性将处理图像分解成包含单个条纹的序列图像,再对条纹进行细化处理,得到单个像素宽的条纹;最后对序列图像合并处理,实现所有干涉条纹信息的提取,提出的方法能保证所提取条纹的清晰度和完整性。
干涉条纹 正态检验 自适应亮度均衡化 条纹提取 Moire fringes normal test adaptive luminance equalization fringe extraction
山东理工大学 电气与电子工程学院，淄博 255049
为了测量浮法玻璃的斑马角，采用了莫尔条纹的测量方法，该法能够分辨玻璃转动0．2°所引起的变形，且斑马角的平均偏差为0．87%。实验结果表明，该法优于传统的浮法玻璃斑马角测量法。
激光技术 斑马角 浮法玻璃 莫尔条纹 laser technique zebra angle float glass Moire fringes
中国科学技术大学天文与应用物理系,合肥,230026
莫尔条纹(Moirefringes)是两组线簇重叠在一起,在其交点位置处形成的条纹.由于莫尔条纹反映了两组线簇的空间频率之差(即拍频),因此它具有放大作用,故可用来测量一些诸如角度、位相等微小变化量.本实验是利用两块空间频率相同的黑白光栅产生的莫尔条纹来测量长焦距透镜的焦距.先从理论上推导出在平行光场中,置于两块栅线呈一夹角的光栅之间某位置处的透镜产生的莫尔条纹为一组平行的直线系,它的斜率与透镜焦距之间定量关系.然后在实验中用CCD接收莫尔条纹的像,由计算机图象的斜率计算出待测透镜的焦距.
莫尔条纹 长焦距透镜焦距 计算机图象 Moire fringes long focus length of lens computer image
本文利用干涉条纹和Rochi光栅形成的莫尔条纹在离透镜2倍焦距方向不变的原理测量凸透镜焦距。该法精度高,操作极其简单。
Moire条纹 光栅 干涉条纹
本文用衍射理论定量分析了扩展光源照明的双光栅系统中滤波狭缝对成象莫尔条纹形成的影响及作用,给出了狭缝的面内及离面位移量与条纹手移量及倾斜角间的关系.
狭缝 狭缝位移 莫尔条纹移动
