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分子发射光谱法测量微波等离子体气体温度
邓磊 张贵新 刘程 谢宏 
作者单位
摘要
清华大学电机工程与应用电子技术系, 北京 100084
通过OH自由基A2Σ+→X2Πr电子带系分子发射光谱测温法, 实现了对氩气、 氮气、 空气三种大气压微波等离子体气体温度的测量。 探究了不同微波功率、 不同气体流量下气体温度的变化规律, 测量了氮气、 空气微波等离子体羽流的轴向温度分布。 实验结果表明, 不同工作条件下微波等离子体核心温度普遍超过2 000 K, 空气微波等离子体可超过6 000 K; 同样工作条件下三种微波等离子体气体温度满足: ＴAr分子发射光谱法 微波等离子体 OH自由基 气体温度 Molecular emission spectrometry Microwave plasma OH radical Gas temperature 
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光谱学与光谱分析
2018, 38(2): 627
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