1 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 空间一部， 长春 130033
2 中国科学院研究生院，北京 100049
微通道板光子计数成像探测器是嫦娥三号极紫外相机的关键成像器件，嫦娥三号极紫外相机被用于探测地球等离子层中极微弱的He+共振散射辐射，为了消除微通道板内部吸附的残余气体产生的离子反馈等背景噪音对探测器微弱信号成像性能的影响，需要对微通道板进行预处理.预处理包括高温真空烘烤和紫外光电子清刷.根据预处理的实验要求，设计了一套微通道板预处理装置，为微通道板预处理实验提供高真空环境和高温加热及保温功能.本文详细介绍了微通道板预处理实验的实现过程，对三片Z型级联的微通道板进行预处理实验后，背景噪音由27.09 counts/s·cm2降低为0.53 counts/s·cm2、空间分辨率达到125 μm，上述实验结果表明MCP在预处理之后其表面、亚表面和体内吸附的杂质气体得以有效去除，获得了稳定的增益，成像性能也得以改善.
微通道板 预处理 脉冲高度分布 极紫外 Microchannel plate Preconditioning Pluse height distribution Extreme ultraviolet
