1 哈尔滨工业大学精密工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001
2 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
建立了由改造的原子力显微镜(AFM)、精密回转气浮轴系、辅助转位轴系等组成的靶丸表面形貌精密测量系统,气浮轴系的回转精度达0.049μm,实现了对激光核聚变靶丸3个正交方向上完整圆周迹线的测量.对选定靶丸的测量数据进行了球度、表面粗糙度及功率谱分析.结果表明:其球度值为0.42μm;模数范围为2～10,11～50,51～100及101～1 000对应的表面粗糙度值平均为105.7,12.2,6.2,18.25nm;并得出了平均1维功率谱-模数关系曲线.
ICF靶丸 球度 表面粗糙度 功率谱 精密回转主轴系 辅助转位轴系 ICF target AFM AFM Sphericity Surface roughness Power spectrum Precision spindle Auxiliary transform rotary 强激光与粒子束
2005, 17(12): 1847
