1 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
2 重庆大学国家新型微纳器件与系统技术重点学科实验室
3 重庆大学微系统研究中心，重庆 400044
针对一种喇曼型声表面波声光器件的设计需求，设计制作出一种能够满足喇曼-奈斯衍射要求的、低损耗、高Q值声表面波谐振器。利用耦合模(COM)理论仿真谐振器的性能，建立谐振器的COM模型，求解COM方程，提取出COM参数。利用COM软件仿真设计谐振器的结构参数，设计的谐振器中心频率为78.028MHz，Q值为10428，插入损耗为-6.153dB。利用微加工技术加工制作出声表面波谐振器，用矢量网络分析仪对其性能进行测试，得到谐振器实际中心频率为78.34MHz，插入损耗为-11.273dB，Q值为6465.7，该谐振器能够满足喇曼型声表面波声光器件的应用需求。
喇曼-奈斯衍射 SAW谐振器 中心频率 插入损耗 Q值 Raman-Nath diffraction SAWR center frequency insertion loss Q value
