电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川 成都 611731
为了准确地设计声表滤波器, 需要从参考声表面波(SAW)谐振器的测量值中提取精确的材料参数。测量SAW谐振器时, 单个谐振器无法直接进行测试, 需要引出传输线并使用GSG或GS探针进行测量, 消除传输线影响的去嵌入过程对于SAW谐振器材料参数的准确提取非常重要。该文介绍了几种声表面波谐振器的去嵌入技术, 包括Open-Short算法、电磁仿真方法、分段等效电路模型方法、集**数等效电路法。通过实例验证了几种常用的去嵌方法并对其进行了分析。
去嵌入 SAW谐振器 机电耦合系数 等效电路 集**数法 de-embedding SAW resonator electromechanical coupling coefficient equivalent circuit lumped parameter method
1 模拟集成电路重点实验室，重庆 400060
2 中国电子科技集团公司 第二十六研究所，重庆 400060
Cu/15°YX-LiNbO3声表面波(SAW)谐振器作为宽带SAW滤波器的核心单元，其横向模式的存在极大地影响了SAW滤波器的通带性能，将引起带内波纹，增大器件插损，从而降低系统信噪比，引起信号误读。该文基于Piston技术抑制Cu/15°YX-LiNbO3 SAW谐振器的横向模式，利用有限元仿真优化了指条末端尺寸。仿真结果表明，慢速区域尺寸占空比为0, 692，长度约为0, 65λ(λ为波长)时，主模附近的横向模得到完全抑制，并通过实验验证了其有效性。这为Piston技术应用于Cu/15°YX-LiNbO3宽带SAW滤波器的横向模抑制提供了指导。
声表面波(SAW)谐振器 宽带声表面波(SAW)滤波器 横向模式 Piston技术 surface acoustic wave(SAW) resonator wide band SAW filter transverse modes Piston technique
重庆邮电大学 微电子工程重点实验室, 重庆 400065
利用COMSOL软件建立了声表面波(SAW)单端口谐振器和双端口滤波器的二维等效模型, 基于有限元法通过该模型计算了完整的SAW谐振器和梯形滤波器结构的导纳和频率响应特性, 并将该结果与通过COM耦合模型模拟的结果进行对比。结果表明, 基于有限元法利用二维等效模型模拟SAW器件性能是可行的。同时研究了电极电阻和传播损耗对谐振器导纳的影响, 为进一步研究SAW器件特性提供了理论依据。
声表面波(SAW)谐振器 梯形滤波器 二维等效模型 有限元法 COM耦合参数 surface acoustic wave(SAW) resonator ladder type resonator filter two-dimensional equivalent model finite element method COM coupling parameter
1 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
2 重庆大学国家新型微纳器件与系统技术重点学科实验室
3 重庆大学微系统研究中心，重庆 400044
针对一种喇曼型声表面波声光器件的设计需求，设计制作出一种能够满足喇曼-奈斯衍射要求的、低损耗、高Q值声表面波谐振器。利用耦合模(COM)理论仿真谐振器的性能，建立谐振器的COM模型，求解COM方程，提取出COM参数。利用COM软件仿真设计谐振器的结构参数，设计的谐振器中心频率为78.028MHz，Q值为10428，插入损耗为-6.153dB。利用微加工技术加工制作出声表面波谐振器，用矢量网络分析仪对其性能进行测试，得到谐振器实际中心频率为78.34MHz，插入损耗为-11.273dB，Q值为6465.7，该谐振器能够满足喇曼型声表面波声光器件的应用需求。
喇曼-奈斯衍射 SAW谐振器 中心频率 插入损耗 Q值 Raman-Nath diffraction SAWR center frequency insertion loss Q value
