研制了工作波长为13.5 nm的Schwarzschild成像显微镜。从共轴两镜系统的基本理论出发, 通过消除三级球差、彗差和像散设计了Schwarzschild物镜的光学初始结构, 计算了物镜的光学传递函数。结果表明, 物镜在±0.3 mm视场内像方空间分辨率可达550 lp/mm。根据工作波长和镜面的入射角度设计了Mo/Si周期多层膜反射镜, 制作了Schwarzschild显微镜光学元件, 多层膜元件对13.5 nm波长的反射率为61%。为了消除可见光和紫外光对系统成像的影响, 设计并制备了材料为Zr, Si和Si3N4的滤波片, 该滤波片在13.5 nm处的透过率为21.1%。利用激光等离子体光源对60 lp/mm网格进行了成像实验, 结果表明,系统在0.5 mm视场内的分辨率优于3 μm, 结论认为CCD探测器分辨率极限是影响成像实验分辨率的主要因素。