作者单位
摘要
山东理工大学电气工程学院,山东,淄博,255012
首先分析了半导体光电位置敏感器件(PSD)的工作过程.利用连续发射的激光光源和半导体光电位置敏感器件,设计了一种三维非接触高精度的光学测量系统.该系统根据定位于被测量物体上直角坐标系的格线,生成该物体的外形,从而用于不规则三维物体多种参数的测量和诊断.该系统使用了光学装置,特别适用于不规则形状尤其是边缘形状的图形的精确测量和探测,测量出的数据对于研究和诊断皮肤损伤的形态、特征和类型之间的关系等有很高的价值,应用前景非常广阔.
半导体光电位置敏感器件 激光 三维非接触测量系统 诊断 Semiconductor photoelectric position sensitive dev Laser 3D noncontact measurement system Diagnosing 
红外与激光工程
2002, 31(4): 356

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