作者单位
摘要
南京信息工程大学 电子与信息工程学院, 南京 210044
设计了一种新型的在线光纤法布里-珀罗(F-P)压力传感器。该传感器的F-P腔为微椭球空气腔, 由光纤熔接机以特定的熔接参数熔接单模光纤和实芯光子晶体光纤而成。该传感器基于F-P干涉原理测量压力, 全石英结构, 制作工艺简单, 温度串扰小。分析了封闭的椭球形空气F-P腔中短轴直径(腔长)与长轴半径(敏感膜有效半径)的关系;利用高斯光束传输理论分析了空气F-P腔形状与腔内损耗的关系。分析了SiO2敏感膜受压后中心挠度与膜厚、有效半径的关系。建立了SiO2膜的压力敏感特性模型, 在施加均布载荷条件下对模型的挠度形变特性进行了数值解析和有限元仿真。仿真了传感器F-P干涉条纹波谷波长与压力的关系, 为设计制作光纤微压传感器提供了理论依据。
光纤传感器 法布里-珀罗干涉 压力传感 SiO2膜 fiber optic sensor Fabry-Perot interference pressure sensing SiO2 film 
半导体光电
2017, 38(6): 798
作者单位
摘要
1 西华师范大学 物理与电子信息学院, 四川 南充 637009
2 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
采用提拉法在硅基底上制备了多孔溶胶凝胶SiO2膜,用椭偏法测量薄膜的厚度与折射率,考察了提拉速度和胶体浓度对膜层厚度与折射率的影响。对厚度与提拉速度的关系进行线性与幂函数拟合,并比较分析两种拟合的关系及其对工艺流程的作用。比较了不同浓度胶体所得到的同一厚度薄膜的折射率变化规律。结果表明: 对于同一胶体浓度下薄膜厚度与提拉速度的正相关关系,线性拟合相比幂函数拟合可以更好地解释实验结果的规律性。同时,折射率在一定范围内也会随着提拉速度的增加而减小。镀同一厚度膜时,浓度大的胶体膜层折射率大。通过对提拉速度和胶体浓度的控制可以得到理想的薄膜厚度与折射率。
提拉法 SiO2膜 薄膜厚度 折射率 dip coating process silica film thickness refractive index 
强激光与粒子束
2014, 26(7): 072005
作者单位
摘要
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
用ANSYS有限元热分析软件模拟了基于AlN膜钝化层和SiO2膜钝化层的高功率垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)器件内部的热场分布和热矢量分布。经模拟得到基于AlN膜钝化层的VCSEL热阻为3.123℃/W,而基于SiO2膜钝化层的VCSEL的热阻为4.377℃/W。经实验测得基于AlN膜钝化层的VCSEL热阻为3.54℃/W,而基于SiO2膜钝化层的VCSEL的热阻为4.75℃/W,模拟结果与实验结果吻合较好。
垂直腔面发射半导体激光器 AlN膜 SiO2膜 vertical-cavity surface-emitting semiconductor las AlN film SiO2 film ANSYS ANSYS 
应用光学
2010, 31(6): 1023
马祥柱 1张斯钰 1赵博 1李辉 1[ ... ]曲轶 1,*
作者单位
摘要
1 长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室,长春 130022
2 海特光电有限责任公司,北京 100083
本文用ANSYS有限元热分析软件模拟了基于AlN膜钝化层和SiO2膜钝化层的高功率垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)器件内部的热场分布和热矢量分布.目的是证明AlN膜钝化层要比SiO2膜钝化层有具更好的特性,使器件能更稳定的工作,提高器件的特性,经模拟得到基于AlN膜钝化层的VCSEL热阻为3.12 ℃/W,而基于SiO2膜钝化层的VCSEL的热阻为4.77 ℃/W.经实验测得基于AlN膜钝化层的VCSEL热阻为3.59 ℃/W而基于SiO2膜钝化层的VCSEL的热阻为4.82 ℃/W,模拟结果和实验结果吻合较好.说明AlN膜钝化层要比SiO2膜钝化层具有更好的热特性.
垂直腔面发射激光器 AlN膜 SiO2膜 Ver-ical-Cavity Surface-Emitting Lasers(VCSEL) AlN Film SiO2 Film ANSYS ANSYS 
光子学报
2010, 39(12): 2113
作者单位
摘要
深圳莱宝真空技术有限公司, 深圳 518034
玻璃基片上的SiO2膜已在液晶显示器件制造业中得到了广泛应用。SiO2膜的性能在很大程度上决定了液晶显示器件的化学稳定性及使用寿命。SiO2膜致密性及膜厚可由P-蚀刻法测量出。本文提出了一种评估液晶显示器件中使用的SiO2膜层性能的简便而又快捷的方法。
SiO2膜 致密结构 P-蚀刻法 膜厚 
光学学报
1998, 18(5): 583

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