1 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 130033
2 中国科学院大学，北京 100049
针对条纹投影偏折法中需要多次迭代进行面形恢复，提出一种结合快速傅里叶变换（FFT）算法与泽尼克（Zernike）模式拟合的算法（FFT-泽尼克）。数值仿真结果表明，直接使用泽尼克模式拟合，需要迭代15次，用时1 min以上，而使用FFT-泽尼克算法，迭代5次已收敛到理想精度。在保证计算精度在纳米量级的情况下，计算时间也缩短了近2/3。
光学检测 FFT-泽尼克模式拟合算法 模式拟合算法 Southwell区域算法 条纹投影偏折法 optical test combined FFT-Zernike modal method modal method Southwell zonal method projected fringes deflectometry
