1 深圳大学 光电工程学院 ，广东 深圳 518052
2 北京大学深圳研究院 运动控制技术实验室，广东 深圳 518057
3 华南师范大学 华南先进光电子研究院 光及电磁波研究中心，广州 510006
为识别铟锡氧化物导电薄膜透明区域内可能存在的加工型和移交型缺陷，并满足实际应用需求，提出了基于高分辨率视觉系统的自动缺陷识别方法.根据铟锡氧化物薄膜光学特性和空间要求，设计了工作距离为30 mm的科勒式同轴光照明模块.此外，为了与照明部分通用光学元件，设计了适用于应用检测的高分辨率成像模块.完成图像采集后，为便于分别检测两类缺陷，采用了两种预处理方法：对图像进行邻域半径r=7的中值滤波并与原图像相减后，获取清晰的划痕缺陷；对图像进行形态学和与阈值处理后，获取对比度为48%的透明电路图案.处理后的图像为缺陷的自动识别提供了可靠的依据，保障了铟锡氧化物薄膜定位的灵敏度和准确度.
机器视觉 薄膜检测 表面缺陷 光学设计 图像处理 Machine vision Thinfilm measurement Surface defect Optical design Image processing
