1 深圳大学 光电工程学院 ，广东 深圳 518052
2 北京大学深圳研究院 运动控制技术实验室，广东 深圳 518057
3 华南师范大学 华南先进光电子研究院 光及电磁波研究中心，广州 510006
为识别铟锡氧化物导电薄膜透明区域内可能存在的加工型和移交型缺陷，并满足实际应用需求，提出了基于高分辨率视觉系统的自动缺陷识别方法.根据铟锡氧化物薄膜光学特性和空间要求，设计了工作距离为30 mm的科勒式同轴光照明模块.此外，为了与照明部分通用光学元件，设计了适用于应用检测的高分辨率成像模块.完成图像采集后，为便于分别检测两类缺陷，采用了两种预处理方法：对图像进行邻域半径r=7的中值滤波并与原图像相减后，获取清晰的划痕缺陷；对图像进行形态学和与阈值处理后，获取对比度为48%的透明电路图案.处理后的图像为缺陷的自动识别提供了可靠的依据，保障了铟锡氧化物薄膜定位的灵敏度和准确度.
机器视觉 薄膜检测 表面缺陷 光学设计 图像处理 Machine vision Thinfilm measurement Surface defect Optical design Image processing
1 福州大学 机械工程及自动化学院 光学太赫兹及无损检测实验室, 福建 福州350108
2 福建省医疗器械和生物技术重点实验室,福建 福州350000
以平衡检测原理为基础, 利用中心波长为700 nm的宽带低相干白光光源, 在自由空间中搭建了分辨率为0.93 μm的基于平稳小波变换(SWT)的时域光学相干层析(TDOCT)系统, 并将其应用于塑料薄片与透明胶纸多层薄膜结构的无损评价。针对现有算法重构效果不够理想的问题, 通过对OCT成像过程中的图像增强手段的对比, 提出利用SWT分解算法处理多层薄膜结构的光学相干层析二维图像。由薄膜检测的实验结果可知, 从SWT细节系数中可以提取更显著的多层薄膜界面干涉信号, 从而提高多层薄膜界面的增强效果。
时域光学相干层析 平稳小波变换 平衡检测 薄膜检测 图像增强 TDOCT SWT balanced detection thin film detection image enhancement
