在光刻投影物镜镜片加工和装配时, 为了满足磨边定心和装配定心阶段对镜片测量的量程、灵敏度和准确度不同的需求, 本文提出了一种双光路准直成像复合干涉的定心方法, 采用同一光路实现准直和干涉两种不同的测量方法, 分别针对磨边定心和装配定心的测量需要.根据实际需要设计了测量系统的参量, 根据该参量对系统的测量范围、灵敏度和准确度进行了理论分析.结果表明:该系统在准直测量阶段的测量范围从1 μm到500 μm, 测量灵敏度最高为0.2%, 测量准确度为1.02 μm; 在干涉测量阶段的测量范围从0.01 μm到1.9 μm, 测量灵敏度最低为0.1%, 测量准确度达到0.2 μm, 可以满足在磨边定心阶段大量程、低灵敏度、低准确度以及装配定心阶段小量程、高灵敏度、高准确度的定心要求.采用双光路成像干涉原理的定心系统满足了设计需求, 可指导光刻投影物镜等高准确度物镜的生产和装调.

报道了双通道可调谐电光调Q射频激励波导CO2激光器,其中一通道是光栅选支电光调Q的脉冲激光输出,调Q脉冲重复频率1Hz～10kHz可调,脉冲峰值功率为150W,脉冲宽度为180ns。另一通道是光栅选支连续激光输出,可用压电陶瓷调节激光频率。同时分析了激光外差频率调谐范围,实验上获得最大脉冲激光外差频率调谐范围为150MHz。

报道了光栅选支射频激励共电极双通道波导CO2激光器。双通道输出激光方向相反，在复杂环境下，未采取任何稳频措施时，其短期外差频率稳定性可达1×10-9,在1 min内外差频率漂移小于2 MHz。

介绍一种采用双反向通道TeO2反常声光器件构成的空间积分声光相关器(SIAOC)。使用直接探测法对矩形脉冲调制的模拟雷达信号进行了抗干扰实验，当矩形脉冲宽度为10 μm时，相关增益可达16 dB。