光子学报
2021, 50(11): 1105001
电子科技大学 电子科学与工程学院, 四川 成都 611731
对滤波器的高精确度理论设计及小误差的工艺实现进行探讨与设计加工。总结了国内外的多种设计经验, 讨论了多种类型的滤波器设计方案, 选取适当的滤波器结构形式, 设计加工了110 GHz的感性窗耦合波导滤波器, 其中感性窗耦合结构采用传统机械加工技术实现, 与法兰盘结构一并集成。基于高频结构仿真(HFSS)软件进行仿真, 结果表明: 设计并制作的110 GHz带通滤波器, 其中心频率为110 GHz, 相对带宽为5%, 插入损耗小于1 dB, 带内回波损耗大于 20 dB, 距中心频率2倍带宽处, 带外抑制大于40 dB。
高频滤波器 波导滤波器 纯腔体 插入损耗 带外抑制 high frequency filter waveguide filter pure cavity insertion loss out of band suppression 太赫兹科学与电子信息学报
2020, 18(1): 14
提出一种新型的由T形与圆形谐振腔组成的光学滤波器, 并利用二维有限元法研究了它的特性。仿真结果显示, 当这两个腔在共振峰附近处于失谐状态时, 会产生电磁诱导透明现象; 同时, 由于两个腔的透射谱形是不同的, 所以当改变圆形腔的半径或T形结构的宽度时, 总体结构的透射谱形会呈现为一种Fano线, 这种变化尖锐非对称的Fano线使得结构对于折射率的敏感性高达1 400 nm/RIU。本文还研究了滤波器特性随结构尺寸的变化, 发现在滤波器几何结构一定的情况下, 透射只发生在特定的波长处。该滤波器可以用于光子回路和灵敏探测。
表面等离激元 滤波器 耦合共振 品质因子 surface plasmon polarizations waveguide filter coupled resonator quality factor
1 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川 绵阳 621900
2 香港城市大学 物理与材料科学系, 中国 香港
3 电子科技大学,四川 成都 613800
设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器.采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片厚度对滤波器主要性能的影响.采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构.通过完成结构深刻蚀、金属电镀和键合等关键工艺, 首次制造出了D波段 MEMS波导滤波器.样品测试结果为插入损耗0.4～0.7 dB, 中心频率(140±3) GHz, 带外抑制为≥18 dB, 样品主要技术指标与设计值符合.
波导滤波器 太赫兹 waveguide filter THz DRIE DRIE
本文提出一种新颖光波导滤波器结构,分析其设计理论,并进行最优化设计.该设计的计算方法简便,且可推广到多种介质波导构成的滤波器.其精确度优于通常的等效介电常数法(EDC法).
光波导滤波器 最优化设计 双肋条波导耦合器
