1 中国科学院光电技术研究所, 四川 成都 610209
2 电子科技大学 光电信息学院, 四川 成都 610054
为实现对离轴三反系统快速、有效的装调, 提出了一种离轴三反系统计算机辅助装调(CAA)方法。该方法在理论分析失调后离轴三反系统像差特性的基础上, 结合CAA技术及光学装调的实际情况, 选择出最少且最合理的调整量; 根据检测数据及CAA数学模型直接计算出调整量的大小及方向。采用该方法对一离轴三反系统进行实际装调, 将调整量从11个减少到7个, 利用波前传感器被动式检测方法对离轴三反系统0及±1视场像质进行检测, 通过一次计算调整快速使该系统全视场波像差从RMS≤0.32λ减少至RMS≤0.067λ(λ＝632.8 nm), 结果表明该装调方法简单、有效。
计算机辅助装调 离轴三反系统 失调特性 Zernike多项式 computer aided alignment off-axis TMA system misalignment characteristics Zernike polynomial coefficient 红外与激光工程
2016, 45(11): 1118006
1 中国科学院 西安光学精密机械研究所,陕西 西安 710119
2 中国科学院 研究生院,北京 100039
针对含有离轴非球面的两镜光学系统,利用三阶矢量波像差理论建立了离轴抛物面主镜的波像差模型和系统内失调量与波像差泽尼克多项式系数的关系模型。在对复杂光学系统的粗装调完成后,利用高精度的自准干涉检测以得到系统各个视场的干涉图,处理后得到系统的波像差,并以泽尼克多项式系数表示;对比理想系统的波像差得到系统波像差的变化量,代入失调模型中,计算出系统元件失调量,以此为依据对系统进行调整。以无遮栏、大口径、长焦距离轴二镜光学系统为模型进行了仿真计算,结果表明,基于矢量波像差理论的计算机辅助装调技术可行,并可用于大型光学系统的装调。
光学设计 应用光学 计算机辅助装调 矢量波像差 泽尼克多项式系数 离轴抛物面 激光与光电子学进展
2010, 47(8): 082202
