中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130033
针对光刻机投影物镜的可变光阑设计对光阑调整范围、安装空间、调整精度的要求, 设计了口径为236 mm、调整精度为NA±0003的连续可变光阑。通过设计与计算236 nm光阑片参数, 得到了光阑各组件的结构参数, 并采用部分齿轮减小了运动机构的质量和摩擦。为了保证光阑的调整精度和材料应力要求, 对光阑的各个部件进行强度校验并对其固有频率进行了分析。结果表明: 光阑的关键受力部件(如连接铆钉及传动齿轮)的应力均满足要求, 光阑片的固有频率间不存在密频现象。结果证明了提出结构的合理性。
可变光阑 投影物镜 结构设计 有限元分析 adjustable diaphragm projection objective structure design finite element analysis
