西北大学 信息科学与技术学院, 陕西 西安 710127
采用溶胶-凝胶法制备了(Ba0.75Sr0.25)TiO3薄膜, 研究了不同退火温度下样品的物相结构、薄膜的光致发光性能和光学透过率。结果表明: 室温下非晶钛酸锶钡薄膜在蓝光激发下具有明显的发光现象, 发光波长范围是500～650 nm, 峰值在525 nm附近。延长非晶态薄膜的退火时间能够显著提高样品的发光强度, 且发光强度随薄膜厚度增加而增大。晶态薄膜有微弱的发光现象。透射谱测试结果表明, 钛酸锶钡薄膜在可见光范围内具有良好的光学透过率。
铁电薄膜 光致发光 非晶薄膜 光学透过率 ferroelectric film (Ba0.75Sr0.25)TiO3 (Ba0.75Sr0.25)TiO3 photoluminescence amorphous film optical transmittance
1 南京理工大学 电子工程与光电技术学院，江苏 南京 210094
2 南京理工大学 理学院，江苏 南京 210094
利用电子束热蒸发镀膜的方式，以高纯度的ZnO和TiO2颗粒为原料，以Si为基底在有氧的气氛中制备ZnO／TiO2复合薄膜。研究制备温度对ZnO／TiO2薄膜的结构以及发光性能的影响。通过拉曼(Raman)谱和X射线衍射(XRD)谱分析了ZnO／TiO2薄膜的结构，表明所制备的ZnO薄膜为非晶态。用光致发光(PL)谱表征了它的发光特性，数据表明在250 C时制备的非晶态ZnO薄膜在波长389 nm处具有极强的紫外光发射，在波长431 nm处发出很强的紫光，在波长519 nm处发出较强的黄绿光。
电子束热蒸发 紫外光发射 非晶态薄膜 ZnO ZnO TiO2 TiO2 electron beam evaporation UV emission amorphous film
利用两种脉宽(30ns,500fs)的KrF准分子激光展开了淀积类金刚石薄膜的实验研究,并且成功地制备了大面积不含氢成分的HF-DLC薄膜,运用时空分辨的等离子体发射光谱诊断系统和离子探针系统研究了等离子体特性对薄膜性能的影响.尝试了利用准分子激光制备非晶硅薄膜,研究了实验参数对非晶硅薄膜制备的影响,并分析了制备具有良好电学和光学性能的非晶硅薄膜的条件.
脉冲激光淀积 类金刚石薄膜 非晶硅薄膜 pulse laser deposition DLC film amorphous film
