1 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室， 上海 201800
2 中国科学院大学， 北京 100049
针对大口径光学元件精密加工时上下表面存在温差的问题，以环形抛光系统为例，对抛光盘和工件温度特性进行了研究。在1.6 m环形抛光机上对工件温度进行了测定，结果表明即使在低速抛光情况下工件上下表面也会产生较大的温差。提出了合理搭配工艺参数和对工件非加工面绝热两种温差控制方法。通过采用控制变量法和对工件绝热抛光法进行测温实验验证了方案的可行性，为高精度面形加工奠定了基础。
光学制造 温差控制 大口径光学元件 环形抛光 精密加工 绝热 中国激光
2014, 41(11): 1116001
根据环形抛光的加工特点，研究了大口径反射元件的环形抛光加工工艺。在4 m环抛机上进行了610 mm×440 mm×85 mm的大口径反射元件加工工艺实验，研究了修正盘及工件盘转速与元件面形的关系、修正盘及工件盘位置与元件面形的关系、沥青盘槽形与元件面形的关系。研究结果表明，通过对修正盘及工件盘转速、修正盘及工件盘位置、沥青盘槽形等工艺参数的优化控制，能够得到大口径反射元件面形的高效收敛，元件最高面形精度优于λ/6(λ=632.8 nm)，验证了加工工艺的有效性。
环形抛光 大口径反射元件 工艺优化 转速 槽形 annular lapping large-aperture reflective component process optimization rotating speed groove shape
为解决大型激光驱动器建设中的关键工艺大型精密环形抛光技术一直存在着的控制困难、精度收敛不稳定的难题，分析了环形抛光加工中面形调整控制机理和本质，找到了传统调节控制和判断方法中的缺陷，提出了一种对环抛机面形变化基本实时的离线监测方法。这种监测方法具有结构简单、检测判断时间短和面形变化反应直观的优点。通过建立实验监测装置和实际加工验证，获得了较好的面形趋势判断和实时控制效果。
光学制造 面形监测 环抛机 关键参数 optical fabrication surface figure monitoring annular lapping key parameter
